Прецизна обрада се односи на општи термин за тачност обраде и завршну обраду површине која је већа од оних код конвенционалних метода завршне обраде. Углавном укључује прецизно сечење (као што је дијамантско бушење и прецизно стругање) и високо{1}}брушење. Његова тачност обраде је типично 10~0,1 μм, са степеном толеранције ИТ5 или више, а храпавост површине Ра испод 0,1 μм. Овај процес захтева високо{8}}прецизне машине алатке и фино брушене алате за сечење, постижући високу{9}}прецизну машинску обраду кроз изузетно мале дубине резања и протока. У опреми за полупроводничку ласерску обраду, примењује технологије као што су ласерско урезивање, обележавање и уклањање везивања, и укључује пројектовање и производњу{11}}високо прецизних оптичких система.
Овај процес обухвата технологије као што су прецизно штанцање полупроводничких оловних оквира и машинска обрада лопатица{0}}аеро мотора. моја земља је постигла тачност обраде оптичких компоненти испод{2}}нанометарског-нивоа, пробијајући се кроз основне технологије као што су магнетореологија и опрема за полирање јонским снопом. Политичке иницијативе предлажу напредак у кључним технологијама за прецизно обликовање и обраду лаког материјала, формирајући колаборативни иновативни систем материјала, процеса и апликација у области лаких аутомобила. Машине за полирање јонским снопом постигле су минималну контролну стопу уклањања материјала од 0,1 нанометар, пружајући техничку подршку за главне националне пројекте науке и технологије као што је производња интегрисаних кола.
